専門家名簿

専門家の概要

氏名
(ふりがな)
小島 啓安
こじま ひろやす
生年月日 19501008
勤務先:名称
     所属/役職
有限会社アーステック
名古屋大学 客員教授(併人) 中国科学院上海セラミック研究所兼任教授(併人)
勤務先:市町村
神奈川県海老原市
ホームページ http://www.h6.dion.ne.jp/~earth  
専門分野及び
主な対応テーマ
スパッタリング、真空蒸着などの真空装置を用いた真空薄膜の成膜技術が専門。透明導線膜、光学薄膜、帯電防止膜、電磁遮蔽膜、ハードコーティング膜、光触媒膜、バリヤー膜、パッシベーション膜などがある。 
コンサルティング及び
研究実績
反応性スパッタリングの高速成膜技術が特に専門であり、大手真空装置メーカーへのコンサルティングが中心。真空協会プラズマプロセス部会、技術情報協会、日本テクノセンター、テクノシステム等でのセミナー講師。 
主な略歴、著書、論文等 キャノンにて、半導体焼き付け装置(ステッパー)用光学薄膜材料及びプロセス開発、主としてイオンプレーティング5年間従事、旭硝子にてITO膜などの透明導電膜、TiN等のハードコーティング膜をスパッタリングで高速成膜技術開発。12年間従事。
「現場のスパータリング簿膜Q&A」日刊工業新聞社刊。 
主な資格 東京都立大学修士修了 
自己PR 真空成膜技術は、これからの先端技術に欠かせない技術の一つであるが、アカデミックな解析と泥臭いデータの積み上げ、経験が重要な世界である。失敗を含めた多くの開発経験を持っていることが、開発期間の短縮の鍵となっていると自負している。 
専門家分野
技術


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